ገንቢ
የመለኪያ ሠንጠረዥ
የመተግበሪያ አካባቢ | ምደባ | የምርት ስም | ሌላ ስም | የምርት ጥራት |
TFT-LCD | ልማት | Cf ገንቢ | የሲኤፍ ልማት | |
የድርድር ገንቢ | 25% TMAH | |||
ፖታስየም ሃይድሮክሳይድ | KOH | |||
ሶዲየም ሃይድሮክሳይድ | ናኦህ |
የምርት መግለጫ
በተቀናጀ የወረዳ እና የማሳያ ፓኔል ማምረቻ ውስጥ "ልማት" ብዙውን ጊዜ የፎቶሊቶግራፊ ሂደትን ያልተጋለጡ ቦታዎችን ለማስወገድ የሚያገለግልበትን ደረጃ ያመለክታል. ይህ ደረጃ በማምረት ሂደት ውስጥ ወሳኝ ነው, ምክንያቱም የቁሳቁስን ንድፍ እና አወቃቀሩን ይገልፃል, ይህም የመሳሪያውን ተግባራዊ አፈፃፀም ይጎዳል. በፎቶሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ የቺፑን ሽፋን የሚሸፍነውን የፎቶሪስቴሽን ሂደት ለማቀነባበር እና በማይታዩ ቦታዎች ላይ የፎቶሪስተሮችን ለማስወገድ በማደግ ላይ ያለ መፍትሄ ጥቅም ላይ ይውላል.
ልዩ አጠቃቀም ብዙውን ጊዜ የሚከተሉትን ደረጃዎች ያካትታል:
አዘገጃጀት፥ከማዳበርዎ በፊት በማደግ ላይ ያሉ መሳሪያዎችን እና መፍትሄዎችን ማዘጋጀት ያስፈልግዎታል. በማደግ ላይ ያለው መፍትሄ ብዙውን ጊዜ የፎቶሪሲስትን በማይጋለጡ ቦታዎች ላይ የሚሟሟ ልዩ ኬሚካዊ መፍትሄ ነው.
መንከር፡በፎቶሪሲስት የተሸፈነው ቺፕ በማደግ ላይ ባለው መፍትሄ ውስጥ ተጥሏል. የፎቶግራፍ መከላከያው በትክክል መወገዱን ለማረጋገጥ የማብሰያው ጊዜ እና የሙቀት መጠኑን መቆጣጠር ያስፈልጋል።
ማጠብ፡እድገቱ ከተጠናቀቀ በኋላ የመፍትሄው ቀሪዎችን እና ሌሎች ቆሻሻዎችን ለማስወገድ ቺፕው ብዙውን ጊዜ መታጠብ አለበት።
ማድረቅ፡በመጨረሻም, ሽፋኑ ደረቅ እና ከቅሪቶች የጸዳ መሆኑን ለማረጋገጥ ቺፕው መድረቅ ያስፈልገዋል.
በማሳያ ፓነል ማምረቻ ውስጥ፣ ተመሳሳይ የእድገት ደረጃዎች የተወሰኑ ቁሳቁሶችን ወይም ውህዶችን ለማስወገድ የማሳያ ፓነል የተወሰኑ ቅጦችን ወይም አወቃቀሮችን ለመቅረጽ ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ። የተፈጠሩት ንድፎች እና አወቃቀሮች የንድፍ መስፈርቶችን እና የአምራችነት ትክክለኛነትን የሚያሟሉ መሆናቸውን ለማረጋገጥ የእድገት ሂደቱ የሂደት መለኪያዎችን እና ጊዜን ጥብቅ ቁጥጥር እንደሚያስፈልግ ልብ ሊባል የሚገባው ነው. በተጨማሪም, በማንኛውም የማምረት ሂደት ውስጥ, የኬሚካል ንጥረ ነገሮችን መጠቀም ተጓዳኝ ደህንነቱ የተጠበቀ የአሠራር ሂደቶችን እና የአካባቢ ጥበቃ መስፈርቶችን ማክበርን ይጠይቃል.
ገንቢዎች በዋነኝነት በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ በፎቶሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ ያገለግላሉ። የፎቶሊቶግራፊ ሂደት ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ቁልፍ እርምጃ ነው፣ በቺፑ ላይ በሲሊኮን ዋይፈር ላይ ጥቃቅን ንድፎችን እና አወቃቀሮችን ለመወሰን ያገለግላል። በፎቶሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ, የፎቶሪሲስት በሲሊኮን ቫፈር ላይ ተሸፍኗል, ከዚያም ንድፉ ጭምብል እና ለ UV ብርሃን መጋለጥ በመጠቀም ወደ ፎቶግራፍ አንሺው ይተላለፋል. ከዚያ, ገንቢው ወደ መድረክ ይመጣል. የገንቢው ተግባር በፎቶሊቶግራፍ ያልተሰራውን የፎቶሪስቴስት ክፍልን መፍታት ወይም ማስወገድ ነው, በዚህም የተፈለገውን ስርዓተ-ጥለት ወደ ሲሊከን ዋፈር ያስተላልፋል. ይህ እርምጃ በቺፑ ላይ የሚፈለገውን ማይክሮስትራክሽን በሲሊኮን ቫፈር ላይ በትክክል መገልበጥ መቻሉን በማረጋገጥ ለቀጣይ መቆንጠጥ, ማስቀመጫ እና ሌሎች ሂደቶች መሰረት ይጥላል. የገንቢው ምርጫ እና አጠቃቀም በመጨረሻው ቺፕ ጥራት እና አፈፃፀም ላይ ጠቃሚ ተጽእኖ አለው, ስለዚህ የገንቢውን አጠቃቀም በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ምርት ውስጥ ጥብቅ ቁጥጥር እና ደረጃውን የጠበቀ መሆን አለበት.
መግለጫ2