የተቀናጁ ኬሚካሎች
የመለኪያ ሠንጠረዥ
የመተግበሪያ አካባቢ | ምደባ | የምርት ስም |
አይ.ሲ | የተቀናጁ ኬሚካሎች | ከዋፋው ጀርባ በኩል የመስታወት ቀጭን |
Atomization እና ዋፈር ከኋላ በኩል ቀጭን | ||
የፖሊሲሊኮን እና የሲሊኮን ንጣፎችን ማሳከክ | ||
የኦክሳይድ ንክኪ እና የቫፈር ማጽዳት | ||
የብረት ፊልም መሳል | ||
ናይትሮጅን-ሲሊኮን / ኦክስጅን-ሲሊኮን ኢሶኪኒቲክ ኢክሽን | ||
የኢንዲየም ጋሊየም ዚንክ ኦክሳይድን መምረጥ | ||
የናይትሮጅን-ሲሊኮን / ኦክስጅን-ሲሊኮን የተመረጠ ማሳከክ | ||
ሲን/አሎ፣ የተመረጠ የSIN/TiN ማሳከክ | ||
ፎስፎሪክ አሲድ ተጨማሪዎች, የሲኤምፒ መጥረጊያዎች | ||
አዲስ ትውልድ የ HK ቁሳቁስ ማሳከክ ፈሳሾች | ||
ሞሊብዲነም ማሳከክ | ||
የ Sc-AlN-doped ማሳከክ | ||
የ SiGe መራጭ ማሳከክ | ||
የቫፈር ጀርባው ቀጭን እና በጣም የተጨመረው ሲሊከን ተመርጦ ተቀርጿል | ||
በ Etching ውስጥ የሲሊኮን ኦክሳይድ እና የሲሊኮን ናይትራይድ ኢቲንግ ምርጫ ጥምርታ ከ 200 በላይ ነው | ||
በ Etching ውስጥ፣ የሲሊኮን ኦክሳይድ እና አሉሚኒየም የኢትች ምርጫ ጥምርታ ከ 50 በላይ ነው። | ||
የማሳከክ ፈሳሾች ያስቀመጧቸውን የሲሊካ ሚዲያዎች ወደ አንድ የተወሰነ ጥልቀት ለመቅረጽ ወደ ጥልቅ ጉድጓዶች ውስጥ ዘልቀው ሊገቡ ይችላሉ። | ||
ጌት ሲሊኮን ኦክሳይድ ተቀርጾ ጥሩ ወጥነት አለው። | ||
Photoresist diluent | ||
የበዝል ዋፈር እንደገና መወለድን ይቆጣጠሩ | ||
ደረቅ ማሳከክ ቀሪዎችን ማስወገድ | ||
በአሉሚኒየም ሂደት ውስጥ (> 130 nm) ውስጥ የደረቀ ማሳከክ ቀሪዎችን ማጽዳት | ||
በመዳብ ሂደት ውስጥ (130nm-40nm) ውስጥ የደረቀ ማሳከክ ቀሪዎችን ማጽዳት | ||
የነሐስ ሂደት፡- ደረቅ የማስመሰል ቅሪትን በቲኤን ደረቅ ጭንብል (40nm-12nm) | ||
ለ 10nm ሂደት አልኦክስ ማጽዳት እና ማስወገድ ጥቅም ላይ ይውላል | ||
ማንሳት-አጥፋ ሂደት ብርሃን የመቋቋም ማስወገድ | ||
ማንሳት-አጥፋ ሂደት ብርሃን የመቋቋም ማስወገድ |
የምርት መግለጫ
የተቀናጁ ኬሚካሎች በተለያዩ መንገዶች የተቀናጁ ዑደቶችን እና የማሳያ ፓነሎችን ለመሥራት ያገለግላሉ። አንዳንድ የተለመዱ አጠቃቀሞች የሚከተሉትን ያካትታሉ:
የፎቶግራፍ ሂደት;የተቀናጁ ኬሚካሎች በወረዳ ሰሌዳዎች ወይም በማሳያ ፓነሎች ላይ ጥሩ አወቃቀሮችን ለመወሰን የፎቶሪሲስቶችን ለማዘጋጀት ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ. እነዚህ ኬሚካሎች በፎቶሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ ቁልፍ ሚና ይጫወታሉ, ትክክለኛ ንድፎችን እና አወቃቀሮችን ለመፍጠር ይረዳሉ.
ጽዳት እና ቀሪዎችን ማስወገድ;የተቀናጁ ኬሚካሎች በማምረት ሂደት ውስጥ እንደ ኦርጋኒክ እና ኦርጋኒክ ያልሆኑ ቅሪቶች ያሉ ቀሪዎችን ለማጽዳት እና ለማስወገድ ያገለግላሉ።
ኬሚካዊ ግብረመልሶች እና አቀማመጥ;አንዳንድ የተቀናጁ ኬሚካሎች በተለያዩ ኬሚካላዊ ምላሾች እና የማስቀመጫ ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ፣ ለምሳሌ ተግባራዊ ንጣፎችን ከተወሰነ ኮንዳክሽን ወይም የእይታ ባህሪ ጋር ማዘጋጀት።
የምርት ጥራት እና ወጥነት ያረጋግጡ;የተቀናጁ ኬሚካሎች የምርት ጥራትን እና ወጥነትን ለማረጋገጥ ለምሳሌ የገጽታ ህክምናዎችን እና የሂደት ሁኔታዎችን በመቆጣጠር መጠቀም ይቻላል።
ከተቀነባበሩ ኬሚካሎች ጋር በሚሰሩበት ጊዜ ደህንነቱ የተጠበቀ የአሰራር ሂደቶችን በጥብቅ መከተል እና አያያዝ እና አወጋገድ በተገቢው አካባቢ መከናወን አለበት.
በኤሌክትሮኒካዊ አካላት የማምረት ሂደት ውስጥ ፣ የ IC ደረጃ ኬሚካሎች ብዙውን ጊዜ የሚከተሉትን መስፈርቶች አሏቸው ።
ከፍተኛ ንፅህና;በምርት ሂደቱ ውስጥ ምንም አይነት ቆሻሻዎች ወይም ብክለቶች እንዳይገቡ ለማረጋገጥ የ IC ደረጃ ኬሚካሎች እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ሊኖራቸው ይገባል. እነዚህ ኬሚካሎች ጥብቅ የንጽህና መስፈርቶችን ለማክበር እና ጥብቅ የመንጻት እና የፈተና ሂደቶችን ለማካሄድ መፈጠር አለባቸው።
ትክክለኛ ኬሚካዊ ባህሪዎች;የ IC ደረጃ ኬሚካሎች የተረጋጋ ኬሚካላዊ ባህሪያት ሊኖራቸው ይገባል, እና ስብስባቸው በጥብቅ ቁጥጥር እና በማምረት ሂደት ውስጥ መስፈርቶቹን የሚያሟሉ መሆናቸውን ማረጋገጥ አለባቸው.
ተዛማጅ መስፈርቶችን ያክብሩ፡የምርት ጥራትን እና ደህንነትን ለማረጋገጥ የ IC ደረጃ ኬሚካሎችን ማምረት እና መጠቀም አግባብነት ያላቸውን የኢንዱስትሪ ደረጃዎች እና ደንቦችን ማክበር አለባቸው።
የClass IC ኬሚካሎችን ሲጠቀሙ፣ አምራቾች በተለምዶ ምንጮቻቸውን በጥብቅ ይቆጣጠራሉ፣ ተገቢ የማከማቻ እና የአያያዝ ልምዶችን ይከተላሉ፣ እና ኦፕሬተሮች በትክክል የሰለጠኑ መሆናቸውን ያረጋግጣሉ።
መግለጫ2