Stripper
Parametertabelle
| Anwendungsbereich | Einstufung | Produktname | Ein anderer Name | Produktqualität |
| TFT-LCD | Stripper | Stripper | Stripper | |
| Dimethylsulfoxid | DMSO | |||
| Monoethanolamin | DING |
Produktbeschreibung
Bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen und Displays bezeichnet „Stripper“ üblicherweise den Entwickler, mit dem die unbelichteten Teile des Fotolacks entfernt werden. Zu den Anwendungsschritten gehören im Allgemeinen:
Belichtung:Während des Herstellungsprozesses wird die Oberfläche des Siliziumwafers mit Fotolack beschichtet. Die Klebeschicht wird anschließend mit einem Designmuster belichtet. Durch den Fotolithografieprozess wird das Muster auf den Fotolack übertragen.
Entwicklung:Die unbelichteten Bereiche müssen entfernt werden. In diesem Schritt wird ein Entwickler (Stripper) verwendet, um den Fotolack von den unbelichteten Bereichen zu entfernen und so das gewünschte Muster zu erzeugen.
Reinigung:Reinigen Sie die Siliziumscheibe und entfernen Sie eventuelle Entwicklerrückstände auf der Oberfläche. Bei der Herstellung von Displays können ähnliche Entwickler auch zum Entfernen bestimmter Materialien oder Verbindungen verwendet werden, um bestimmte Muster oder Strukturen auf dem Display zu erzeugen. Bei der Verwendung von Entwicklern müssen in jedem Fall die Anweisungen und Sicherheitsempfehlungen des Herstellers beachtet werden, um die Sicherheit der Mitarbeiter und die korrekte Verwendung der Produktionsanlagen zu gewährleisten.
Bei der Chipherstellung bezeichnet Stripper üblicherweise einen Fotolack-Stripper, der zum Entfernen von Fotolack verwendet wird. Fotolack ist ein wichtiges Material für die Musterübertragung bei der Chipherstellung. Im fotolithografischen Prozess wird die Chipoberfläche mit Fotolack beschichtet, und anschließend wird durch Schritte wie Belichtung und Entwicklung das gewünschte Muster erzeugt. Nach Abschluss der Musterübertragung muss der verbleibende Fotolack auf der Chipoberfläche entfernt werden, um mit dem nächsten Prozessschritt, wie Ätzen oder Abscheiden, fortfahren zu können. Zu diesem Zweck wird ein Stripper zum Entfernen des Fotolacks benötigt. Ein Stripper ist üblicherweise eine chemische Lösung, die Fotolack schnell und effektiv auflöst und entfernt, ohne die Chipoberfläche zu beschädigen. Dieser Prozess ist entscheidend für die Genauigkeit und Qualität der Chipherstellung. Nach dem Entfernen des Fotolacks ist die Chipoberfläche sauber und bietet eine saubere Oberfläche für nachfolgende Prozessschritte.
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