Químicos formulados
Táboa de parámetros
Área de aplicación | Clasificación | Nome do produto |
IC | Químicos formulados | Adelgazamento do espello na parte traseira da oblea |
Atomización e adelgazamento da parte traseira da oblea | ||
Gravado de substratos de polisilicio e silicio | ||
Gravado por óxido e limpeza de obleas | ||
Grabado de película metálica | ||
Grabado isocinético nitróxeno-silicio/oxi-silicio | ||
Grabado selectivo de óxido de zinc-indio galio | ||
Gravado selectivo de nitróxeno-silicio/oxi-silicio | ||
SiN/AlO, grabado selectivo de SiN/TiN | ||
Aditivos de ácido fosfórico, abrasivos CMP | ||
Unha nova xeración de fluídos de gravado de materiais HK | ||
Grabado de molibdeno | ||
Grabado dopado con Sc-AlN | ||
Gravado selectivo de SiGe | ||
A parte traseira da oblea está diluída e o silicio altamente dopado está gravado selectivamente | ||
No gravado, a relación de selección de óxido de silicio ao gravado de nitruro de silicio é superior a 200 | ||
No gravado, a relación de selección de gravado de óxido de silicio ao aluminio é superior a 50 | ||
Os fluídos de gravado poden infiltrarse en fosas profundas para gravar os medios de sílice que depositan a unha profundidade específica | ||
O óxido de silicio da porta pódese gravar e ten unha boa uniformidade | ||
Diluyente fotorresistente | ||
Controla a rexeneración da oblea do bisel | ||
Eliminación de residuos de gravado en seco | ||
Limpeza de residuos de gravado en seco no proceso de aluminio (>130 nm) | ||
Limpeza de residuos de gravado en seco no proceso de cobre (130nm-40nm) | ||
Proceso de cobre: limpeza de residuos de gravado en seco con máscara dura de TiN (40 nm-12 nm) | ||
Utilízase para o proceso de limpeza e eliminación de AlOx de 10 nm | ||
Eliminación da resistencia á luz do proceso de despegue | ||
Eliminación da resistencia á luz do proceso de despegue |
Descrición do produto
Os produtos químicos formulados úsanse habitualmente de diversas formas na fabricación de circuítos integrados e paneis de visualización. Algúns usos comúns inclúen:
Proceso de fotolitografía:Os produtos químicos formulados pódense usar para preparar fotorresistentes para definir estruturas finas en placas de circuítos ou paneis de visualización. Estes produtos químicos xogan un papel fundamental no proceso de fotolitografía, axudando a crear patróns e estruturas precisos.
Limpeza e eliminación de residuos:Os produtos químicos formulados utilízanse nos procesos de fabricación para limpar e eliminar os residuos, como os residuos orgánicos e inorgánicos xerados durante a produción.
Reaccións químicas e deposición:Algúns produtos químicos formulados pódense usar nunha variedade de reaccións químicas e procesos de deposición, como a preparación de capas funcionais cunha condutividade específica ou propiedades ópticas.
Garantir a calidade e consistencia do produto:Os produtos químicos formulados tamén se poden usar para garantir a calidade e a consistencia do produto, por exemplo controlando os tratamentos de superficie e as condicións do proceso.
Cando se traballe con produtos químicos formulados, débense seguir rigorosamente os procedementos operativos seguros e a manipulación e eliminación deben realizarse nun ambiente axeitado.
No proceso de fabricación de compoñentes electrónicos, os produtos químicos de calidade IC adoitan ter os seguintes requisitos:
Alta pureza:Os produtos químicos de calidade IC deben ser de moi alta pureza para garantir que non se introduzan impurezas ou contaminantes durante o proceso de fabricación. Estes produtos químicos deben producirse con estritos requisitos de pureza e someterse a rigorosos procedementos de purificación e proba.
Propiedades químicas precisas:Os produtos químicos de calidade IC deben ter propiedades químicas estables e a súa composición debe ser controlada e confirmada estritamente para garantir que cumpren os requisitos durante o proceso de fabricación.
Cumprir as normas pertinentes:A produción e o uso de produtos químicos de calidade IC deben cumprir as normas e as normas relevantes da industria para garantir a calidade e a seguridade do produto.
Cando usan produtos químicos de clase IC, os fabricantes normalmente controlan estritamente as súas fontes, adoptan prácticas de almacenamento e manipulación adecuadas e aseguran que os operadores estean debidamente formados.
descrición 2