Mea hoʻomohala

Papa Kaula

Hōʻike huahana

I ka hana kaapuni hoʻohui a me ka panel hōʻike, "hoʻomohala" pili pinepine i ke kaʻina hana photolithography i hoʻohana ʻia e wehe i ka photoresist mai nā wahi i ʻike ʻole ʻia. He mea koʻikoʻi kēia ʻanuʻu i ke kaʻina hana no ka mea e wehewehe ana i ke ʻano a me ke ʻano o ka mea, e pili ana i ka hana hana o ka hāmeʻa. Ma ke kaʻina hana photolithography, hoʻohana ʻia kahi hoʻomohala hoʻomohala e hana i ka photoresist e uhi ana i ka ʻili chip a wehe i ka photoresist ma nā wahi i ʻike ʻole ʻia.

ʻO ka hoʻohana kikoʻī maʻamau e loaʻa i kēia mau ʻanuʻu:
Hoʻomākaukau:Ma mua o ka hoʻomohala ʻana, pono ʻoe e hoʻomākaukau i ka hoʻomohala ʻana a me ka hoʻomohala ʻana i ka hopena. ʻO ka hoʻomohala hoʻomohala maʻamau he hopena kemika kūikawā e hoʻoheheʻe koho i ka photoresist ma nā wahi i ʻike ʻole ʻia.
ʻO ka pulu:Hoʻopili ʻia ka puʻupuʻu i uhi ʻia me ka photoresist i kahi hopena e ulu ana. Pono e ho'omalu 'ia ka manawa a me ka mahana no ka wehe pono 'ana i ka photoresist.
Holoi:Ma hope o ka pau ʻana o ka hoʻomohala ʻana, pono e holoi ʻia ka chip e wehe i ke koena o ka hoʻomohala ʻana a me nā mea haumia ʻē aʻe.
Hoʻomaloʻo:ʻO ka hope, pono e hoʻomaloʻo ʻia ka chip i mea e maloʻo ai kona ʻili a me ke koena ʻole.

I ka hana ʻana o ka papa hōʻike, hiki ke hoʻohana ʻia nā ʻanuʻu hoʻomohala like no ka wehe ʻana i kekahi mau mea a i ʻole nā ​​pūhui e hana i nā ʻano kikoʻī a i ʻole nā ​​hale no ka panel hōʻike. He mea pono e hoʻomaopopo i ke kaʻina hana hoʻomohala e koi i ka mana koʻikoʻi o ka hoʻoponopono ʻana i nā ʻāpana a me ka manawa e hōʻoia i ka hopena o nā ʻano a me nā hale e hoʻokō i nā koi hoʻolālā a me ka pololei o ka hana ʻana. Eia kekahi, i loko o kekahi kaʻina hana, pono ka hoʻohana ʻana i nā mea kemika e hoʻokō me nā kaʻina hana palekana kūpono a me nā koi palekana kaiapuni.

Hoʻohana nui ʻia nā mea hoʻomohala i ka hana photolithography i ka ʻoihana semiconductor. ʻO ke kaʻina hana photolithography kahi hana koʻikoʻi i ka hana semiconductor, hoʻohana ʻia e wehewehe i nā hiʻohiʻona liʻiliʻi a me nā hale ma luna o nā wafer silika ma ka chip. Ma ke kaʻina hana photolithography, ua uhi ʻia ka photoresist ma ka ʻili o kahi wafer silika, a laila hoʻololi ʻia ke kumu i ka photoresist ma o ka hoʻohana ʻana i ka mask a me ka ʻike ʻana i ke kukui UV. A laila, hele mai ka mea hoʻomohala ma ke kahua. ʻO ka hana a ka mea hoʻomohala e hoʻopau a wehe paha i ka ʻāpana o ka photoresist ʻaʻole i paʻi kiʻi ʻia, a laila e hoʻololi i ke ʻano makemake i ka wafer silicon. Hoʻokumu kēia ʻanuʻu i ke kumu no ka etching, deposition a me nā kaʻina hana ʻē aʻe, e hōʻoia ana e hiki ke kope pololei ʻia ka microstructure i makemake ʻia ma ka chip i ka wafer silicon. ʻO ka kohoʻana a me ka hoʻohanaʻana i ka mea hoʻolālā he hopena koʻikoʻi i ka maikaʻi a me ka hana o ka chip hope loa, no laila, pono e hoʻomalu ponoʻia ka hoʻohanaʻana i ka mea hoʻolālā i ka hanaʻana i kaʻoihana semiconductor.