Ka mea wehe

Papa Kaula

Hōʻike huahana

Ma ke kaʻina hana o nā kaʻapuni i hoʻohui ʻia a me nā paneli hōʻike, ʻo "stripper" ka mea maʻamau i ka mea hoʻomohala i hoʻohana ʻia e wehe i nā ʻāpana unexposed o ka photoresist. ʻO kāna mau ʻanuʻu hoʻohana maʻamau ka:

Hōʻike:I ka wā o ka hana ʻana, ua uhi ʻia ka photoresist ma ka ʻili o ka wafer silika. A laila e ʻike ʻia ka ʻāpana adhesive i ka mālamalama me kahi ʻano hoʻolālā. Ma o ke kaʻina hana photolithography, hoʻololi ʻia ke kumu i ka photoresist.

Hoʻomohala:Pono e wehe ʻia nā ʻāpana i ʻike ʻole ʻia. Ma kēia ʻanuʻu, hoʻohana ʻia kahi mea hoʻomohala (stripper) e wehe i ka photoresist mai nā wahi i ʻike ʻole ʻia e hana i ke ʻano makemake.

Hoʻomaʻemaʻe:E hoʻomaʻemaʻe i ka wafer silikona a wehe i nā koena mea hoʻomohala e waiho ʻia ma ka ʻili. I ka wā o ka hana ʻana o ka papa hōʻikeʻike, hiki ke hoʻohana ʻia nā mea hoʻomohala like e wehe i kekahi mau mea a i ʻole nā ​​pūhui e hana i nā ʻano kikoʻī a i ʻole nā ​​​​hanana o ka pā hōʻike. I nā hihia a pau, pono ka hoʻohana ʻana i ka mea hoʻomohala e hoʻokō i nā ʻōlelo a ka mea hana a me nā ʻōlelo aʻoaʻo palekana e hōʻoia i ka palekana o nā limahana a me ka hoʻohana pono ʻana i nā lako hana.

Ma ke kaʻina hana chip, ʻo ka Stripper ka mea maʻamau i ka photoresist stripper, i hoʻohana ʻia e wehe i ka photoresist. ʻO Photoresist kahi mea nui i hoʻohana ʻia no ka hoʻololi ʻana i ke kumu i ka hana ʻana i nā chip. I ke kaʻina hana photolithography, ua uhi ʻia ka photoresist ma ka ʻili o ka chip, a laila hoʻokumu ʻia ke ʻano i makemake ʻia ma o nā ʻanuʻu e like me ka hoʻolaha a me ka hoʻomohala ʻana. Eia naʻe, i ka pau ʻana o ka hoʻololi ʻana i ke kumu, pono e wehe ʻia ke koena photoresist ma ka ʻili chip i mea e hoʻomau ai i ke kaʻina hana aʻe, e like me ka etching a i ʻole ka waiho ʻana. I kēia manawa, pono ʻoe e hoʻohana i ka Stripper e wehe i ka photoresist. ʻO ka Stripper ka mea maʻamau he hopena kemika e hiki ke hoʻopau koke a hoʻoneʻe i ka photoresist me ka ʻole e hōʻino i ka ʻili o ka chip. He mea koʻikoʻi kēia kaʻina hana no ka hōʻoia ʻana i ka pololei a me ka maikaʻi o ka hana chip. Ma hope o ka wehe ʻia ʻana o ka photoresist, maʻemaʻe ka ʻili o ka chip, e hāʻawi ana i kahi maʻemaʻe maʻemaʻe no nā kaʻina hana ma hope.