Onye nrụpụta

Okpokoro oke

Nkọwa ngwaahịa

Na sekit agbakwunyere na nrụpụta panel ngosi, "mmepe" na-ezokarị aka na nzọụkwụ nke usoro fotolithography ejiri wepụ fotoresis na mpaghara a na-adịghị ahụ anya. Nzọụkwụ a dị oke mkpa na usoro mmepụta ihe n'ihi na ọ na-akọwa ụkpụrụ na nhazi nke ihe onwunwe, nke na-emetụta arụmọrụ nke ngwaọrụ ahụ. N'ime usoro fotolithography, a na-eji ihe ngwọta na-emepụta ihe na-emepụta ihe na-emepụta fotoresist na-ekpuchi elu mgbawa ma wepụ fotoresis na ebe ndị a na-adịghị ahụ anya.

Ojiji a kapịrị ọnụ na-agụnyekarị usoro ndị a:
Nkwadebe:Tupu ịmalite, ịkwesịrị ịkwadebe akụrụngwa na-emepụta ihe na ịmepụta ngwọta. Ngwọta na-emepe emepe na-abụkarị ihe ngwọta kemịkalụ pụrụ iche nke na-ahọrọ nke na-agbaze fotoresis na mpaghara ndị a na-ekpugheghị.
Nri:A na-agbanye mgbawa ahụ kpuchie na photoresist na ngwọta na-emepe emepe. A na-achọkarị ịchịkwa oge mmiri na okpomọkụ iji hụ na ewepụrụ fotoresis nke ọma.
ịsa:Mgbe emechara mmepe ahụ, a na-asakarị mgbawa ahụ iji wepụ ihe fọdụrụ na-emepe emepe na adịghị ọcha ndị ọzọ.
ihicha:N'ikpeazụ, ọ dị mkpa ka a kpochaa mgbawa ahụ iji hụ na elu ya akpọnwụwo na enweghị ihe fọdụrụnụ.

N'imepụta panel ngosi, a nwekwara ike iji usoro mmepe yiri nke ahụ wepụ ụfọdụ ihe ma ọ bụ ogige iji mepụta ụkpụrụ ma ọ bụ ihe dị iche iche maka panel ngosi. Okwesiri iburu n'uche na usoro mmepe na-achọ njikwa nlezianya nke nhazi nhazi na oge iji hụ na usoro na ihe ndị na-esi na ya pụta na-egbo mkpa imewe na n'ichepụta ziri ezi. Na mgbakwunye, n'ime usoro nrụpụta ọ bụla, iji ihe kemịkalụ na-achọ nnabata na usoro ọrụ nchekwa kwekọrọ na ihe nchekwa gburugburu ebe obibi chọrọ.

A na-ejikarị ndị mmepe eme ihe na fotolithography na ụlọ ọrụ semiconductor. Usoro fotolithography bụ isi nzọụkwụ n'ichepụta semiconductor, nke a na-eji kọwaa obere ụkpụrụ na ihe owuwu na silicon wafers na mgbawa. N'ime usoro fotolithography, a na-ekpuchi photoresist n'elu ihe mkpuchi silicon, mgbe ahụ, a na-ebufe ụkpụrụ ahụ na fotoresis site na iji ihe nkpuchi na ikpughe na ìhè UV. Mgbe ahụ, onye mmepụta na-abịa na ogbo. Ọrụ nke onye nrụpụta bụ ịgbari ma ọ bụ wepụ akụkụ nke fotoresisist nke na-edobeghị fotolithographed, si otú a na-ebufe ụkpụrụ achọrọ na silicon wafer. Nzọụkwụ a tọrọ ntọala maka etching, nkwụnye ego na usoro ndị ọzọ, na-ahụ na enwere ike depụtaghachi microstructure achọrọ na mgbawa nke ọma na wafer silicon. Nhọrọ na ojiji nke onye nrụpụta nwere mmetụta dị mkpa na ịdị mma na arụmọrụ nke mgbawa ikpeazụ, ya mere ojiji nke onye nrụpụta kwesịrị ka a na-achịkwa nke ọma na nhazi ya na mmepụta nke ụlọ ọrụ semiconductor.