Kemịkalụ emepụtara
Okpokoro oke
Mpaghara Ngwa | Nhazi | Aha ngwaahịa |
IC | Kemịkalụ emepụtara | Ngosipụta enyo dị n'azụ n'akụkụ wafer |
Atomization na thinning nke wafer azụ | ||
Etching nke polysilicon na silicon substrates | ||
Oxide etching na wafer ihicha | ||
Ihe nkiri metal etching | ||
Nitrogen-silicon/oxy-silicon isokinetic etching | ||
Nhọrọ etching nke indium gallium zinc oxide | ||
Nhọrọ etching nke nitrogen-silicon/oxy-silicon | ||
SiN/AlO, nhọrọ etching nke SiN/TiN | ||
Ihe mgbakwunye phosphoric acid, abrasives CMP | ||
Ọgbọ ọhụrụ nke HK ihe etching mmiri | ||
Mbelata nke molybdenum | ||
Etching nke Sc-AlN-doped | ||
Nhọrọ nke SiGe | ||
Akụkụ azụ nke wafer na-adị gịrịgịrị ma were họrọ silicon doped nke ukwuu | ||
Na etching, oke nhọrọ nke silicon oxide na silicon nitride etching karịrị 200 | ||
Na etching, oke nhọrọ nke silicon oxide na aluminom karịrị 50 | ||
Mmiri na-egbuke egbuke nwere ike ịbanye n'olulu miri emi iji kụnye mgbasa ozi silica nke ha na-etinye n'ime omimi | ||
Enwere ike ịdepụta silicon oxide ọnụ ụzọ ma nwee ezigbo otu | ||
Photoresist diluent | ||
Jikwaa ntugharị bezel wafer | ||
Mwepụ fọdụrụnụ etching akọrọ | ||
Akọrọ etching fọdụrụ ihicha na aluminum usoro (> 130nm) | ||
Akọrọ etching fọdụrụ ihicha na ọla kọpa usoro (130nm-40nm) | ||
Usoro ọla kọpa: akọrọ etching fọdụrụnụ ihicha na TiN ike nkpuchi (40nm-12nm) | ||
A na-eji ya maka 10nm usoro ihicha na iwepụ AlOx | ||
Mwepụ nguzogide ọkụ usoro ebuli | ||
Mwepụ nguzogide ọkụ usoro ebuli |
Nkọwa ngwaahịa
A na-ejikarị kemịkalụ emepụtara eme ihe n'ụzọ dị iche iche n'ichepụta sekit jikọtara ọnụ na akụkụ ngosi. Ụfọdụ ojiji a na-ejikarị gụnyere:
Usoro Photolithography:Enwere ike iji kemịkalụ a haziri ahazi iji dozie photoresists iji kọwaa ọmarịcha owuwu na mbadamba sekit ma ọ bụ ihe ngosi. Kemịkalụ ndị a na-arụ ọrụ dị mkpa na usoro fotolithography, na-enyere aka ịmepụta usoro na nhazi nke ọma.
Nhicha na iwepụ ihe fọdụrụ:A na-eji kemịkalụ a haziri ahazi na usoro nrụpụta iji hichaa ma wepụ ihe ndị fọdụrụnụ, dị ka ihe mkpofu organic na inorganic emepụtara n'oge mmepụta.
Mmeghachi omume kemịkalụ na ntinye:Enwere ike iji ụfọdụ kemịkalụ emepụtara n'ụdị mmeghachi omume kemịkalụ dị iche iche yana usoro ntinye ego, dị ka ịkwadebe akwa arụrụ arụ nwere nrụtụ aka ma ọ bụ ngwa anya.
Gbaa mbọ hụ na ọ dị mma na nkwekọ:A pụkwara iji kemịkalụ emepụtara iji hụ na ịdịmma ngwaahịa na ịdị n'otu, dịka ọmụmaatụ site na ịchịkwa ọgwụgwọ elu na ọnọdụ nhazi.
Mgbe ị na-arụ ọrụ na kemịkalụ emepụtara, a ga-agbasorịrị usoro arụ ọrụ nchekwa nke ọma yana njikwa na mkpofu ga-emerịrị na gburugburu ebe kwesịrị ekwesị.
N'ime usoro mmepụta ihe elektrọnik, kemịkalụ IC na-enwekarị ihe ndị a:
Ịdị ọcha dị elu:Kemịkalụ IC ọkwa ga-abụrịrị ịdị ọcha nke ukwuu iji hụ na ọ nweghị ihe adịghị ọcha ma ọ bụ ihe mmetọ ewebataghị n'oge usoro nrụpụta. A ghaghị imepụta kemịkalụ ndị a ka ọ bụrụ ihe a chọrọ ka ọ dị ọcha ma nweta usoro nchacha na nnwale siri ike.
Njirimara kemịkalụ ziri ezi:Kemịkalụ IC-ọkwa ga-enwerịrị akụrụngwa kemịkalụ kwụsiri ike, yana ihe mejupụtara ha ga-enwerịrị njikwa ma gosipụta ya iji hụ na ha ruru ihe achọrọ n'oge usoro nrụpụta.
Soro ụkpụrụ ndị dabara adaba:Mmepụta na ojiji nke kemịkalụ IC ga-agbasorịrị ụkpụrụ na ụkpụrụ ụlọ ọrụ dị mkpa iji hụ na ịdịmma na nchekwa ngwaahịa.
Mgbe ị na-eji kemịkalụ Class IC, ndị na-emepụta ihe na-achịkwa nke ọma isi mmalite ha, na-agbaso usoro nchekwa na njikwa kwesịrị ekwesị, wee hụ na a zụrụ ndị na-arụ ọrụ nke ọma.
nkọwa2