Stripper

Okpokoro oke

Nkọwa ngwaahịa

N'ime usoro nhazi nke sekit agbakwunyere na ihe ngosi ngosi, "stripper" na-ezokarị aka na onye mmepụta na-ewepụ akụkụ ndị na-adịghị ahụ anya nke fotoresis. Usoro ojiji ya na-agụnyekarị:

Mkpughepụ:N'oge a na-emepụta ihe, a na-ekpuchi fotoresis n'elu nke silicon wafer. A na-ekpuchi oyi akwa nrapado na ìhè na ụkpụrụ nhazi. Site na usoro fotolithography, a na-ebufe ụkpụrụ ahụ na fotoresisist.

Mmepe:Ọ dị mkpa ka ewepụ akụkụ ndị ahụ a na-ekpugheghị. N'ime usoro a, a na-eji onye nrụpụta (stripper) wepụ fotoresis site na ebe a na-adịghị ahụ anya iji mepụta ụkpụrụ achọrọ.

Nhicha:Hichaa wafer silicon ma wepụ ihe ọ bụla mmepụta ihe nwere ike ịdị n'elu. N'oge usoro nrụpụta panel ngosi, a pụkwara iji ndị mmepe yiri ya wepụ ihe ụfọdụ ma ọ bụ ogige iji mepụta ụkpụrụ ma ọ bụ ihe owuwu nke panel ngosi. N'ọnọdụ niile, iji onye nrụpụta chọrọ nrube isi na ntuziaka onye nrụpụta na ndụmọdụ nchekwa iji hụ na nchekwa nke ndị ọrụ na iji ngwa nrụpụta ziri ezi.

N'ime usoro nrụpụta mgbawa, Stripper na-ezokarị aka na onye na-ese fotoresist, nke a na-eji wepụ fotoresisist. Photoresist bụ isi ihe eji eme ihe maka ịnyefe ụkpụrụ n'ichepụta mgbawa. N'ime usoro fotolithography, a na-ekpuchi photoresist n'elu mgbawa ahụ, mgbe ahụ, a na-emepụta ụkpụrụ a chọrọ site na nzọụkwụ dị ka ikpughe na mmepe. Otú ọ dị, ozugbo nyefe ụkpụrụ ahụ zuru, ọ dị mkpa ka ewepụ fotoresisist fọdụrụnụ na mgbawa ka ọ gaa n'ihu na usoro ọzọ, dị ka etching ma ọ bụ ntinye. N'oge a, ịkwesịrị iji Stripper wepụ fotoresisist. Stripper na-abụkarị ihe ngwọta kemịkalụ nke nwere ike ịgbaze ngwa ngwa na nke ọma ma wepụ fotoresis na-emebighị elu mgbawa ahụ. Usoro a dị oke mkpa iji hụ na izi ezi na ịdị mma nke nrụpụta mgbawa. Mgbe ewepụrụ fotoresisist, elu mgbawa na-adị ọcha, na-enye elu dị ọcha maka usoro usoro ọzọ.