Иштеп чыгуучу

Параметр таблицасы

Продукт Description

Интегралдык микросхемаларды жана дисплей панелдерин өндүрүүдө "иштеп чыгуу" көбүнчө ачык эмес жерлерден фоторезистти алып салуу үчүн колдонулган фотолитография процессиндеги кадамды билдирет. Бул кадам өндүрүш процессинде өтө маанилүү, анткени ал аппараттын функционалдык көрсөткүчтөрүнө таасир этүүчү материалдын үлгүсүн жана структурасын аныктайт. Фотолитография процессинде чиптин бетин жаап турган фоторезистти иштетүү жана экспозициясыз жерлерде фоторезистти алып салуу үчүн иштеп чыгуучу эритме колдонулат.

Атайын колдонуу, адатта, төмөнкү кадамдарды камтыйт:
Даярдоо:Иштеп чыгуудан мурун, иштеп чыгуучу жабдууларды жана иштеп чыгуучу чечимди даярдоо керек. Иштеп чыгуучу эритме, адатта, ачык эмес жерлерде фоторезистти тандап эриткен атайын химиялык эритме болуп саналат.
Чыгуу:Фоторезист менен капталган чип иштеп чыгуучу эритмеге малынган. Чылоо убактысын жана температурасын, адатта, фоторезисттин туура алынып салынышын камсыз кылуу үчүн көзөмөлдөө керек.
Жуу:Иштеп чыгуу аяктагандан кийин, чип, адатта, өнүгүп келе жаткан эритменин калдыктарын жана башка аралашмаларды тазалоо үчүн жууш керек.
Кургатуу:Акыр-аягы, чиптин бети кургак жана калдыктары жок болушу үчүн кургатуу керек.

Дисплей панелин өндүрүүдө, ушул сыяктуу өнүгүү кадамдары дисплей панели үчүн белгилүү бир калыптарды же структураларды түзүү үчүн айрым материалдарды же кошулмаларды алып салуу үчүн да колдонулушу мүмкүн. Бул иштеп чыгуу жараяны натыйжасында үлгүлөрүнүн жана структуралардын долбоорлоо талаптарына жана өндүрүштүн тактыгына жооп берүү үчүн кайра иштетүү параметрлерин жана убакыт катуу көзөмөлдү талап кылат экенин белгилей кетүү керек. Мындан тышкары, ар кандай өндүрүш процессинде химиялык заттарды колдонуу тиешелүү коопсуз иштөө процедураларын жана айлана-чөйрөнү коргоо талаптарын сактоону талап кылат.

Иштеп чыгуучулар негизинен жарым өткөргүч өнөр жайында фотолитография процессинде колдонулат. Фотолитография процесси жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдөгү негизги кадам болуп саналат, ал чиптеги кремний пластиналарындагы кичинекей калыптарды жана структураларды аныктоо үчүн колдонулат. Фотолитография процессинде фоторезист кремний пластинкасынын бетине капталат, андан кийин масканы колдонуу жана УК жарыгынын таасири аркылуу үлгү фоторезистке өткөрүлүп берилет. Андан кийин, иштеп чыгуучу сахнага чыгат. Иштеп чыгуучунун функциясы фотолитографиядан өтпөгөн фоторезисттин бөлүгүн эритүү же алып салуу, ошону менен керектүү үлгүнү кремний пластинкасына өткөрүп берүү. Бул кадам чиптеги талап кылынган микроструктураны кремний пластинкасына так көчүрүүнү камсыз кылып, кийинки оюу, чөкүү жана башка процесстерге негиз түзөт. Иштеп чыгуучунун тандоосу жана колдонулушу акыркы чиптин сапатына жана аткаруусуна маанилүү таасир этет, ошондуктан иштеп чыгуучунун колдонулушу жарым өткөргүч өнөр жайын өндүрүүдө катуу көзөмөлгө алынышы жана стандартташтырылуусу керек.