Lik'hemik'hale tse entsoeng
Letlapa la Parameter
Sebaka sa Kopo | Karolelano | Lebitso la Sehlahiswa |
KEA BONA | Lik'hemik'hale tse entsoeng | Seipone se tšesaane karolong e ka morao ea sephaphatha |
Atomization le ho fokotseha ha sephaphatha ka morao | ||
Ho kenyelletsa likaroloana tsa polysilicon le silicon | ||
Ho hloekisa oksijene le ho hloekisa liphaphatha | ||
Etching filimi ea tšepe | ||
Naetrojene-silicon/oxy-silicon isokinetic etching | ||
Khetho e khethiloeng ea indium gallium zinc oxide | ||
Khetho e khethiloeng ea nitrogen-silicon/oxy-silicon | ||
SiN/AlO, khetho e khethiloeng ea SiN/TiN | ||
Phosphoric acid additives, CMP abrasives | ||
Moloko o mocha oa HK lintho tse etching maro | ||
Ho ruruha ha molybdenum | ||
Ho kenngoa ha Sc-AlN-doped | ||
Khetho e khethiloeng ea SiGe | ||
Lehlakore le ka morao la sephaphatha le tšesaane 'me silicon e nang le doped haholo e khethoa ka mokhoa o ikhethileng | ||
Ho etching, karolelano ea khetho ea silicon oxide ho silicon nitride etching e feta 200 | ||
Ho etching, karo-karolelano ea khetho ea silicon oxide ho aluminium e feta 50 | ||
Mokelikeli oa metsi o ka kenang ka har'a likotopo tse tebileng ho kenya media oa silika oo ba o behang botebong bo itseng | ||
Silicon oxide ea heke e ka kenngoa 'me e na le ho tšoana hantle | ||
Motsoako oa photoresist | ||
Laola ho nchafatsa bezel wafer | ||
Ho tlosoa ha masala a etching e omileng | ||
Ho hloekisoa ha masala a omileng ka mokhoa oa aluminium (> 130nm) | ||
Ho hloekisa masala a etching ka mokhoa oa koporo (130nm-40nm) | ||
Ts'ebetso ea koporo: ho hloekisa masala a omileng ka mask a thata a TiN (40nm-12nm) | ||
E sebelisetsoa ho hloekisa le ho tlosa AlOx ka 10nm | ||
Ho tlosa ts'ebetso ea ho phahamisa khanya ea khanya | ||
Ho tlosa ts'ebetso ea ho phahamisa khanya ea khanya |
Tlhaloso ea Sehlahisoa
Lik'hemik'hale tse entsoeng li sebelisoa hangata ka mekhoa e fapaneng ha ho etsoa lipotoloho tse kopaneng le liphanele tse bonts'ang. Lisebelisoa tse ling tse tloaelehileng li kenyelletsa:
Mokhoa oa ho nka lifoto:Lik'hemik'hale tse entsoeng li ka sebelisoa ho lokisa li-photoresists ho hlalosa meaho e metle libotong tsa potoloho kapa liphanele tsa ponts'o. Lik'hemik'hale tsena li phetha karolo ea bohlokoa ts'ebetsong ea photolithography, ho thusa ho theha mekhoa le mekhoa e nepahetseng.
Ho Hloekisa le ho Tlosa Masala:Lik'hemik'hale tse entsoeng li sebelisoa mekhoeng ea tlhahiso ho hloekisa le ho tlosa mesaletsa, joalo ka masalla a tlhaho le a inorganic a hlahisoang nakong ea tlhahiso.
Karabelo ea lik'hemik'hale le ho beoa:Lik'hemik'hale tse ling tse entsoeng li ka sebelisoa mefuteng e fapaneng ea liphetoho tsa lik'hemik'hale le lits'ebetsong tsa ho beha, joalo ka ho lokisa likarolo tse sebetsang tse nang le conductivity e itseng kapa lisebelisoa tsa optical.
Netefatsa boleng ba sehlahisoa le ho tsitsa:Lik'hemik'hale tse entsoeng li ka boela tsa sebelisoa ho netefatsa boleng ba sehlahisoa le ho tsitsisa, mohlala ka ho laola mekhoa ea phekolo le maemo a ts'ebetso.
Ha o sebetsa le Lik'hemik'hale Tse Fetotsoeng, mekhoa e bolokehileng ea ts'ebetso e tlameha ho lateloa ka thata le ho ts'oaroa le ho lahla ho tlameha ho etsoa tikolohong e nepahetseng.
Ts'ebetsong ea tlhahiso ea likarolo tsa elektroniki, lik'hemik'hale tsa boemo ba IC hangata li na le litlhoko tse latelang:
Bohloeki bo Phahameng:Lik'hemik'hale tsa boemo ba IC li tlameha ho ba tse hloekileng haholo ho netefatsa hore ha ho na litšila kapa litšila tse hlahisoang nakong ea tlhahiso. Lik'hemik'hale tsena li tlameha ho hlahisoa ho latela litlhoko tse tiileng tsa bohloeki 'me li kenelle lits'ebetsong tse thata tsa tlhoekiso le tlhahlobo.
Lintho tse nepahetseng tsa lik'hemik'hale:Lik'hemik'hale tsa IC-grade li tlameha ho ba le lik'hemik'hale tse tsitsitseng, 'me sebopeho sa tsona se tlameha ho laoloa ka thata le ho netefatsoa ho netefatsa hore li finyella litlhoko nakong ea ts'ebetso ea tlhahiso.
Ikamahanya le maemo a amehang:Tlhahiso le ts'ebeliso ea lik'hemik'hale tsa boemo ba IC li tlameha ho tsamaellana le litekanyetso le melaoana ea indasteri ho netefatsa boleng ba sehlahisoa le polokeho.
Ha ba sebelisa lik'hemik'hale tsa Class IC, bahlahisi ba laola mehloli ea bona ka thata, ba amohela mekhoa e nepahetseng ea ho boloka le ho sebetsana le eona, 'me ba netefatsa hore basebetsi ba koetlisoa ka nepo.
tlhaloso2