Stripper

Paramita Table

Apejuwe ọja

Ninu ilana iṣelọpọ ti awọn iyika iṣọpọ ati awọn panẹli ifihan, “stripper” nigbagbogbo n tọka si olupilẹṣẹ ti a lo lati yọ awọn apakan ti ko han ti photoresisist kuro. Awọn igbesẹ lilo rẹ ni gbogbogbo pẹlu:

Ìsírasílẹ̀:Lakoko ilana iṣelọpọ, photoresist ti wa ni ti a bo lori dada ti ohun alumọni wafer. Layer alemora lẹhinna farahan si ina pẹlu apẹrẹ apẹrẹ kan. Nipasẹ ilana fọtolithography, ilana naa ti gbe si fọtoresisist.

Idagbasoke:Awọn ẹya ti a ko fi han nilo lati yọ kuro. Ni igbesẹ yii, olupilẹṣẹ kan (stripper) ni a lo lati yọ photoresist kuro ni awọn agbegbe ti a ko fi han lati ṣẹda apẹrẹ ti o fẹ.

Ninu:Nu wafer ohun alumọni kuro ki o yọkuro eyikeyi iyokù idagbasoke ti o le wa lori oju. Lakoko ilana iṣelọpọ nronu ifihan, awọn olupilẹṣẹ ti o jọra le tun ṣee lo lati yọ awọn ohun elo kan kuro tabi awọn agbo ogun lati dagba awọn ilana kan pato tabi awọn ẹya ti nronu ifihan. Ni gbogbo awọn ọran, lilo olupilẹṣẹ nilo ibamu pẹlu awọn itọnisọna olupese ati awọn iṣeduro aabo lati rii daju aabo awọn oṣiṣẹ ati lilo ohun elo iṣelọpọ to pe.

Ninu ilana iṣelọpọ chirún, Stripper nigbagbogbo tọka si olutọpa photoresist, eyiti o lo lati yọ photoresist kuro. Photoresist jẹ ohun elo bọtini ti a lo fun gbigbe apẹẹrẹ ni iṣelọpọ chirún. Ninu ilana fọtolithography, photoresist ti wa ni ti a bo lori dada ti ërún, ati lẹhinna ilana ti o nilo ni a ṣẹda nipasẹ awọn igbesẹ bii ifihan ati idagbasoke. Sibẹsibẹ, ni kete ti gbigbe ilana ba ti pari, photoresist ti o ku lori dada chirún nilo lati yọkuro lati le tẹsiwaju pẹlu igbesẹ ilana atẹle, gẹgẹbi etching tabi ifisilẹ. Ni akoko yii, o nilo lati lo Stripper lati yọ photoresist kuro. Stripper jẹ igbagbogbo ojutu kemikali ti o le yarayara ati imunadoko ni tituka ati yọ photoresist kuro laisi ibajẹ dada ërún. Ilana yii ṣe pataki lati rii daju deede ati didara iṣelọpọ chirún. Lẹhin ti o ti yọ photoresist kuro, dada chirún di mimọ, pese aaye ti o mọ fun awọn igbesẹ ilana atẹle.